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Tektronix泰克Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

4200A-SCS 参数分析仪

通过4200A-SCS加速半导体器件、材料和工艺开发的研究、可靠性和失效分析研究。作为性能最高的参数分析仪,它能够同步电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及超快脉冲I-V测量。

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参数化洞察,快速且清晰。

推进你大胆的发现从未如此容易。4200A-SCS参数分析仪将从设置到表征测试运行的时间缩短了最多50%,实现了不受影响的测量和分析能力。此外,内置的测量专业知识提供了无与伦比的测试指导,并对最终测量结果充满信心。

亮点

  • 用于直流I-V、C-V和脉冲I-V测量类型的先进测量硬件

  • 立即开始测试,Clarius软件中包含数百个用户可修改的应用测试

  • 自动化实时参数提取、数据图表、分析函数

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准确的C-V特征描述

用Keithley最新的电容电压单元(CVU)4215-CVU测量个位数飞法拉。通过将1伏交流电源集成到Keithley领先的CVU架构中,4215-CVU在1 kHz至10 MHz的频率下实现低噪声电容测量。

亮点

  • 同级首个能够驱动1伏交流电源电压的C-V表

  • 1 kHz 频率分辨率从 1 kHz 到 10 MHz

  • 测量电容、电导和导纳

  • 使用4200A-CVIV多路开关测量最多四个通道

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测量。换。重复。

4200A-CVIV多开关自动切换I-V和C-V测量,无需重新布线或抬起探针头。与竞争对手不同,四通道4200A-CVIV显示屏提供本地可视化洞察,方便快速测试设置和意外故障排查。

亮点

  • 无需重新布线即可将C-V测量移动到任意设备端子

  • 用户可配置以实现低电流能力

  • 个性化输出通道名称

  • 查看实时测试状态

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用于I-V表征的稳定低电流测量

通过4201-SMU和4211-SMU模块,可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS提供四种型号的源测量单元(SMU)可选,可根据您的I-V测量需求进行定制。通过提供现场安装单元和可选的前置放大器模块,Keithley确保您能在几乎没有停机的情况下,做出最准确的低电流测量。

亮点

  • 添加SMU,无需将仪器送回工厂

  • 做femptoamp测量

  • 最多9个SMU频道

  • 针对长线缆或大型夹头进行了优化


集成分析探针器和低温控制器的解决方案

4200A-SCS参数分析仪支持多种手动和半自动晶圆探针器和低温温度控制器,包括MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336低温温度控制器。

亮点

  • “点击式”测试序列

  • “手动”探针模式测试探针功能

  • 假探测器模式允许在不移除命令的情况下进行调试

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模型描述
4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV
4200A-SCS:参数分析仪大型机
4201-SMU:两个中功率SMU,
用于高电容配置 4200-PA:一个前置放大器
8101-PIV:一个带样品设备的测试夹具
4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 与 CV
4200A-SCS:参数分析仪大型机
4201-SMU:两个中功率SMU,
用于高电容配置 4200-PA:一个前置放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频C-V单元
8101-PIV:一个带样品设备的测试夹具
4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV
4200A-SCS:参数分析仪大型机
4201-SMU:两个中功率SMU,
用于高电容设置 4211-SMU:两个高功率SMU,
用于高电容配置 4200-PA:两个前置放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频C-V单元
8101-PIV:一个带样品设备的测试灯具
4200-BTI-A
超高速 NBTI/PBTI
对于前沿硅CMOS技术的复杂NBTI和PBTI测量,4200-BTI-A包包括:
  • (1) 4225-PMU 超高速直连V模块

  • (2) 4225转远程前置放大器/开关模块

  • 自动表征套件(ACS)软件

  • 超高速BTI测试项目模块

  • 布线


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